2022-09-24 上海微系统所(什么是微纳米技术)

微纳米技术（MEMS,nano technology）为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术（nano science and technology, nano ST）的简称。是20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起的高新科学技术。由于其巨... [了解更多]